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| KLA 轮廓仪 | KLA 拉伸试验机 | KLA 纳米压痕仪 |
| KLA 表面缺陷检测系统 |
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KLA 光学轮廓仪Zeta-388系列 Zeta-388提供3D量测和成像功能，与集成防震台和晶圆操作系统结合，可实现全自动测量。该系统采用ZDot? 技术，可同时收集高分 |
2023-07-03 |
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KLA 光学轮廓仪Zeta-300系列 Zeta-300 可提供3D 量测和成像功能，与集成式防震台和灵活的配置相结合，可以处理更大的样品。该系统采用ZDot? 技术，可同时 |
2023-07-03 |
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KLA 光学轮廓仪Zeta-20系列 Zeta-20是*个高度集成的光学轮廓显微镜，可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot? 技术，可同时收集高 |
2023-07-03 |
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KLA 光学轮廓仪Profilm3D系列 Profilm3D?和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠，是*套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。*新*代的白光干涉仪拥 |
2023-07-03 |
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KLA 探针式轮廓仪HRP -260系列 HRP -260 是*个高分辨率、自动化探针式轮廓仪，提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘 |
2023-07-03 |
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KLA 探针式轮廓仪Tencor P-170系列 Tencor P-170是*款自动化轮廓仪，可为生产环节提供从几纳米到*毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲 |
2023-07-03 |
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KLA 探针式轮廓仪D-500系列 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力 |
2023-07-03 |
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KLA 探针式轮廓仪Tencor P-17 OF系列 P-17探针式轮廓仪为生产和研发(RD)环节提供从几纳米到*毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应 |
2023-07-03 |
