KLA 轮廓仪 | KLA 拉伸试验机 | KLA 纳米压痕仪 |
KLA 表面缺陷检测系统 |
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KLA 光学轮廓仪Zeta-300系列 Zeta-300 可提供3D 量测和成像功能,与集成式防震台和灵活的配置相结合,可以处理更大的样品。该系统采用ZDot? 技术,可同时 |
2024-12-09 |
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KLA 光学轮廓仪Zeta-388系列 Zeta-388提供3D量测和成像功能,与集成防震台和晶圆操作系统结合,可实现全自动测量。该系统采用ZDot? 技术,可同时收集高分 |
2024-12-09 |