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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列 Candela 8520*二代集成式光致发光和表面检测系统，设计用于对碳化硅和氮化镓衬底上的外延缺陷进行高*表征。采用统计制程控制 |
2023-07-03 |
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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8720系列 Candela 8720*进的集成式表面和光致发光(PL)缺陷检测系统可以捕获各种关键衬底和外延缺陷。采用统计制程控制(SPC)的方法来进 |
2023-07-03 |
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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8420系列 Candela 8420是*种表面缺陷检测系统，它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟 |
2023-07-03 |
