KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列_供应产品

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张经理女士

经营范围：KLA轮廓仪，KLA纳米压痕仪，KLA电阻测试仪

主营行业：

仪器/仪表/测量

所在地区：美国

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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列

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产品：	浏览次数：41KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列
品牌：	KLA
单价：	面议
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发货期限：	自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至：	长期有效
最后更新：	2023-07-03 14:18

详细信息

　　Candela 8520*二代集成式光致发光和表面检测系统，设计用于对碳化硅和氮化镓衬底上的外延缺陷进行高*表征。采用统计制程控制(SPC)的方法来进行自动晶圆检测，可显著降低由外延缺陷导致的良率损失，*大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器的工艺偏差，并增加MOCVD反应器的正常运行时间。

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