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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8720系列
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产品: 浏览次数:12KLA 表面缺陷检测系统Candela 8720系列 
品牌: KLA
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最后更新: 2023-07-03 14:16
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   Candela 8720*进的集成式表面和光致发光(PL)缺陷检测系统可以捕获各种关键衬底和外延缺陷。采用统计制程控制(SPC)的方法来进行自动晶圆检测,可显著降低由外延缺陷导致的良率损失,*大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器的工艺偏差,并增加MOCVD反应器的正常运行时间。
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