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KLA 光学轮廓仪Zeta-388系列
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产品: 浏览次数:10KLA 光学轮廓仪Zeta-388系列 
品牌: KLA
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最后更新: 2023-07-03 14:08
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详细信息
   Zeta-388提供3D量测和成像功能,与集成防震台和晶圆操作系统结合,可实现全自动测量。该系统采用ZDot? 技术,可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-388支持研发和生产环境,具有多模光学器件、易于使用的软件、低拥有成本和SECS/GEM通信。
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