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KLA 探针式轮廓仪Tencor P-17 OF系列
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产品: 浏览次数:10KLA 探针式轮廓仪Tencor P-17 OF系列 
品牌: KLA
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最后更新: 2023-07-03 14:02
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详细信息
   P-17探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供从几纳米到*毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量,扫描范围可达200毫米,无需拼接。
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